Les MEMS : notre invisible quotidien
Ils sont dans notre quotidien, au cœur de la téléphonie, de l’automobile, du médical, des chaînes de production ou des manettes de consoles de jeux, leur taille est de l’ordre du millimètre carré et les éléments de leurs structures (mécaniques) sont à l’échelle du micron (à titre de comparaison, le diamètre moyen d’un cheveu est 75 µm et un globule rouge a une taille de 7 µm) …
MEMS comme Micro Electro Mechanical Systems ....
Les MEMS, acronyme de ou Systèmes Micro-Electo-Mécaniques, sont des dispositifs miniaturisés combinant plusieurs principes physiques. Ils intègrent généralement des éléments mécaniques couplés à de l’électronique et sont réalisés par des procédés de fabrication issus de la micro-électronique. Les MEMS exploitent, des effets liés à l’électromagnétisme, la thermique et la fluidique … Utilisé en tant que capteur, un MEMS possède une partie mobile sensible à la variation d’une grandeur physique (vitesse, pression, direction ...). Cette variation traduite en une grandeur électrique est ensuite analysée par la partie électronique du MEMS. Il possède parfois un micro-actionneur intégré qui, à partir d’un signal électrique, va agir sur la partie mécanique.
L'utilisation de microsystèmes s'est développée du fait de leur faible encombrement parallèlement à une forte sensibilité et une grande précision liées à la miniaturisation. Les critères de poids, taille et volume ont permis leur généralisation dans des objets qui se devaient légers et/ou petits. La ressource " MEMS : contexte et applications " publiées sur le site expert Culture Sciences de l'Ingénieur présente les microsystèmes et leurs domaines d'applications, ainsi que les principes physiques associés à leur conception. La technique de photolithographie, base de la production des MEMS, est également présentée.
Site Culture Sciences de l'Ingénieur ENS-DGESCO
Retrouvez la ressource " MEMS : contexte et applications " sur le site Culture Sciences de l’Ingénieur du portail éduscol STI … Bien d’autres publications vous attendent sur le site Culture Sciences de l’Ingénieur sur les glissements de terrain, les procédés d’obtention de pièces, les capteurs et leur chaîne d’acquisition, …